为便于供应商及时了解政府采购信息， 根据《河南省财政厅关于开展政府采购意向公开工作的通知》（豫财购〔2020〕8 号）规定，现将河南大学2026年05月政府采购意向公开采购意向公开如下：
| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 预算金额(万元) | 预计采购时间 | 备注 |
| 1 | 有机薄膜真空沉积系统，手套箱，旋涂仪 | 1. 有机薄膜真空沉积系统设备（真空镀膜机）：采购数量为2台，主要功能：带有6组蒸发源，可对金属，有机，无机物等材料进行蒸镀，每组蒸发源均配备冷却系统，源与基片的垂直距离≥350mm；每台舟源蒸发电源，功率≤1.5KW，精度0.1A，用于蒸发材料。配合膜厚仪，能够实现材料蒸镀；采用触摸控制模式，相关的操作均在触摸屏界面完成，触摸屏通过机械手臂固定在设备框架；膜厚速率显示精度在±0.01A/S；蒸镀速率， 以Ag为标准，蒸镀速率: 速度稳定性:≤±10%(0.1-0.5A/s)，≤±5%(0.5-10A/s)，≤±4%(>10A/s)；单片内膜厚匀性：±4%；腔体极限真空优于2*10-5pa，从常压到5*10-4pa不超过15min（充氮气保护）； 2. 手套箱：采购数量为2套，每套包换1个双工位手套箱和1个单工位手套箱，主要功能：手套箱内的惰性气体经循环风机和净化器密闭循环，不断地除水除氧；除水除氧材料可以再生，再生过程由程序控制；手套箱内的气氛置换通过自动控制的清洗阀门完成；手套箱内压力通过PLC自动控制，工作压力+/-15 mbar内可以自由设定，超出+/-16mbar系统自动保护；水氧指标：小于1ppm；箱体泄漏率：小于0.001vol%/h； 3. 旋涂仪：采购数量为5台，主要功能：处理腔体内径不小于220mm；Wafer芯片尺寸至少满足10-150mm直径的材料，方片125x125mm，无需更换片托；腔体具有易清洁材质；转动速度至少满足0-12,000rpm；旋涂加速度不小于12,000rpm/sec；马达旋涂转速稳定性能误差不超过±1%；工艺时间设定范围至少满足1-5999.9sec/step ，精度不超过0.1s；可存储不少于20个程序段，每个程序段可设置不少于50个不同步骤的速度状态； | 215 | 2026年05月 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
河南大学
2026年04月08日
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